HS-SRT-301型硅片線痕深度測試儀可用于測試硅片的表面線痕深度，具有便于攜帶、觸摸屏便捷操作、液晶顯示、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，同時內(nèi)置打印機(jī)和充電電池，所有設(shè)計均符合JIS,DIN,ISO,ANSI等標(biāo)準(zhǔn)。

硅片表面線痕深度測試儀-產(chǎn)品特點(diǎn)

■便于操作的觸摸屏

■內(nèi)置打印機(jī)和充電電池

■ JIS/DIN/ISO/ANSI兼容36個評價參數(shù)和3個分析圖表

■探針行程達(dá)350mm

■ 具有統(tǒng)計處理功能

■ 帶有SURFPAK-SJ軟件的PC連接端口

■ 自動休眠功能可有效節(jié)約能源。

■ 高分辨率液晶屏顯示粗糙度值
■ 性價比高
■ 菜單式快速方便設(shè)置
■ 高分辨率液晶LCD顯示

硅片表面線痕深度測試儀-技術(shù)指標(biāo)

■ 檢測器測試范圍：350μm (-200μm to +150μm)

■ 檢測器檢測方式：微分感應(yīng)

■ 檢測器測力：4mN 或 0.75mN（低測力方式）

■ 顯示: 液晶顯示

■ 數(shù)據(jù)輸出: 通過RS-232C端口/SPC數(shù)據(jù)輸出

■ 電源: 通過AC適配器/電池(可更換)

■ 充電時間：15小時

■ 電池使用時間：多可測600次

■ 檢測器尺寸(WxDxh)：307×165×94mm

■ 檢測器重量：1.2kg

■ 驅(qū)動部尺寸(WxDxh)：115 x 23 x 26mm

■ 驅(qū)動部重量：0.2kg