規(guī) 格:HS-phys-SimPLe |
型 號:HS-Phys-IRis |
數(shù) 量:1 |
品 牌:合能陽光 |
包 裝:運輸標準 |
價 格:面議 |
HS-Phys-IRis晶圓紅外檢測系統(tǒng)專門用于包括硅材料等半導(dǎo)體晶圓及晶環(huán)生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)晶圓內(nèi)部的機械隱裂等肉眼無法觀測的內(nèi)部缺陷,其檢測直徑可達420mm。 產(chǎn)品特點
■ 直徑達420mm、厚度達30mm的晶圓檢查 ■ 100μm分辨率下的紅外隱裂檢測 ■ 紅外透射測量 ■ .特殊設(shè)計的帶金鏡的紅外光源 ■ 具有類似顯微鏡的手動控制。 ■ 伺服驅(qū)動軸是可選的。 ■ 框架由高精度CNC制造的Alplan材料制成,表面陽極氧化 ■ 旋轉(zhuǎn)臺采用雙軸承,確保長期使用的耐久性。 ■ 可使用設(shè)定輪手動調(diào)焦,手動旋轉(zhuǎn)測試臺 ■ InGaAs冷卻紅外傳感器,晶片表面18x20mm檢測區(qū)域 ■ 具有參數(shù)設(shè)置、快照和實時視頻錄制功能 ■ 直流供電,紅外光源穩(wěn)定,可手動改變亮度 ■ 使用耐用組件和低成本耗材,可降低運行成本
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