等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性；
采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
支持自動(dòng)手動(dòng)模式，方便客戶靈活操作；
智能自動(dòng)模式：可以設(shè)置為2次清洗，2次進(jìn)氣,每次清洗時(shí)間,進(jìn)氣穩(wěn)定時(shí)間都可以設(shè)定；
手動(dòng)模式：手動(dòng)模式下，系統(tǒng)可以啟動(dòng)定時(shí)功能，清洗時(shí)間到，系統(tǒng)自動(dòng)停止工作；
氣壓穩(wěn)定功能（選配）：根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內(nèi)壓力；
智能氣路功能（選配）：根據(jù)需要，可以配置質(zhì)量
流量計(jì)系統(tǒng)，可以設(shè)置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。
