3MFC40電子氟化液
3M氟化液FC-40是無(wú)色透明全氟化學(xué)品，具有良好的化學(xué)惰性、電氣絕緣性能、熱傳導(dǎo)性和的表面張力應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠作為熱傳導(dǎo)介質(zhì)。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應(yīng)用于蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、測(cè)試設(shè)備及其他設(shè)備。因?yàn)?/font>FC-40是單一組分，所以其成分不好出現(xiàn)降解或者過(guò)期。FC-40沸點(diǎn)高，其隨時(shí)間的揮發(fā)也比較少。
1、載冷劑在工作溫度下應(yīng)處于液體狀態(tài)；其凝固溫度應(yīng)**工作溫度，沸點(diǎn)應(yīng)**工作溫度；
2、熱容要大；
3、密度��；
4、粘度��；化學(xué)的穩(wěn)定性好。對(duì)設(shè)備和管道無(wú)腐蝕；
5、載冷劑應(yīng)不燃燒、爆炸、無(wú)毒，對(duì)人體無(wú)害。
