位移傳感器在工業(yè)自動化中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。它們能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式測量、高精度和高分辨率的測量、快速響應(yīng)和良好的可靠性與穩(wěn)定性。隨著工業(yè)自動化技術(shù)的不斷發(fā)展，該傳感器的應(yīng)用前景將更加廣闊。

工作原理：

位移傳感器通過改變電容來測量物體的位移。當物體發(fā)生位移時，電容隨之改變，電容傳感器將這種變化轉(zhuǎn)化為電信號，送入測量電路進行處理。具體來說，電容傳感器由固定電極和活動電極組成，兩個電極之間填充了介質(zhì)，形成一個電容結(jié)構(gòu)。當物體靠近或遠離電容傳感器時，活動電極的位置也會相應(yīng)變化，從而改變電容值。

設(shè)備性能及主要參數(shù)

1.量程：±25µm 到±1000µm滿量程測量

2.分辨率：優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

3.帶寬：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選

位移傳感器使用特性：

1.非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應(yīng)技術(shù)，無損樣品測量。

2.優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米。

3.高準確性，高靈敏性測量，精度可達0.5nm。

4.可探測任何可傳導(dǎo)性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準確度無任何影響。

5.用途廣泛：金屬薄片厚度測量,振動測量，工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量，精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout)，精密儀器工作平臺定位，設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)

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