伯東企業(yè)（上海）有限公司作為德國(guó) Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊熱流儀, 美國(guó) KRi 離子源, 美國(guó) HVA 高真空閘閥, 等國(guó)際知名進(jìn)口真空品牌的指定代理商, 參展 SemiCon China 2023 上海半導(dǎo)體展！

上海伯東憑借多年真空經(jīng)驗(yàn), 在提供合適的產(chǎn)品同時(shí)更為您提供各類真空工藝的解決方案, 協(xié)助您優(yōu)化工藝過(guò)程, 提高生產(chǎn)效率! 上海伯東期待您的蒞臨！

【參展時(shí)間】: 2023年6月29-7月1日

【地點(diǎn)】: 上海新國(guó)際博覽中心

【伯東展位】: E3號(hào)館, 3369 位置

在現(xiàn)場(chǎng), 我們?yōu)槟�詳解適用于半導(dǎo)體行業(yè)的各類產(chǎn)品！

德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390

專為半導(dǎo)體, 鍍膜行業(yè)研發(fā)

完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)

大抽速, 干式, 方便移動(dòng)

德國(guó) Pfeiffer 大抽速渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT

高抽速, 高氣體吞吐量

對(duì)工藝沉積的抵抗力強(qiáng)

提供耐腐蝕型號(hào)

美國(guó) KRi 大口徑射頻離子源

3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm

提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 大離子束流 > 1000mA

滿足 300 mm (12英寸)晶圓刻蝕

適用于離子刻蝕, 濺射沉積 

美國(guó) inTEST 高低溫沖擊熱流儀 ATS-710E

溫度范圍 °C: -75至+225 50Hz

防靜電設(shè)計(jì), 自動(dòng)除霜

支持 Ethernet, IEEE-488, RS232

美國(guó) Thermonics Process Chillers 超低溫冰水機(jī)

提供 -80°C 低溫冰水機(jī)和 -120°C 超低溫冰水機(jī)

用于冷卻工藝過(guò)程中的氣體和液體

適用于半導(dǎo)體前端和后端各類工藝?yán)鋮s

美國(guó) HVA 超高真空閘閥 11000 系列

口徑: DN 16 - 800 mm

極限壓力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar

 6寸, 8寸 真空插板閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中!

美國(guó) Gel-Pak 芯片包裝盒

適用于儲(chǔ)存和運(yùn)輸半導(dǎo)體精密器件, 光電器件和其他精密器件等

若您需要進(jìn)一步的了解更多信息, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機(jī)134